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半導(dǎo)體廢水處理方法

來源:本站日期:2022-11-08 01:00:34 瀏覽:747
      電子半導(dǎo)體的迅速發(fā)展,有利有弊,為什么這么說呢?電子市場(chǎng)的擴(kuò)容對(duì)于工業(yè)、企業(yè)發(fā)展是一種驅(qū)動(dòng)力,推動(dòng)了經(jīng)濟(jì)社會(huì)的發(fā)展,但制造行業(yè)擴(kuò)大,加工廠增加,電子半導(dǎo)體廢水排量增加,半導(dǎo)體廢水并不是隨意可以排放的,那么半導(dǎo)體廢水處理方法有哪些呢?
      康景輝小編今天主要介紹一下半導(dǎo)體工業(yè)廢水處理方法,半導(dǎo)體廢水處理主要是用于半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水處理和回收利用。
半導(dǎo)體廢水處理
      半導(dǎo)體工業(yè)是一個(gè)十分依賴水資源的行業(yè),也是高耗水的行業(yè),尤其在目前,水資源有限的情形下,限水、缺水對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)的營(yíng)運(yùn)產(chǎn)生巨大壓力。
      因此,對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)節(jié)約用水的研究與實(shí)踐,有助于提升用水效益,降低用水成本。目前,節(jié)約用水、中水回用、廢水的回收利用已成為半導(dǎo)體業(yè)者應(yīng)對(duì)缺水危機(jī)的重要措施,特別是廢水的回收利用,既能減少對(duì)水資源的需求,又能降低企業(yè)的生產(chǎn)成本,同時(shí)也減少對(duì)環(huán)境的污染。
      針對(duì)電子半導(dǎo)體污水處理方法有很多,生化法、物理法、物化法、化學(xué)法等等,都可以根據(jù)半導(dǎo)體廢水水質(zhì)情況進(jìn)行處理,但吸附法、冷凍法、離子交換樹脂法、超濾法、電滲析法,在進(jìn)行廢水處理時(shí),相對(duì)成本較高,廢水去除達(dá)標(biāo)排放率相對(duì)比較低。
      電子半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝復(fù)雜,工藝步驟高達(dá)300余步,同時(shí)會(huì)使用多種化學(xué)試劑以及特殊氣體,主要生產(chǎn)工序包括:硅片清洗、氧化、擴(kuò)散、化學(xué)氣相沉積、光刻、去膠、干法刻蝕、濕法刻蝕、離子注入、金屬化鍍膜、化學(xué)機(jī)械拋光等等。
      生產(chǎn)工序不同,所產(chǎn)生的電子半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水也略有差異,對(duì)于產(chǎn)生的電鍍廢水、含氟廢水、重金屬?gòu)U水等,康景輝針對(duì)電子半導(dǎo)體廢水產(chǎn)生途徑以及根據(jù)半導(dǎo)體廢水的回收利用,選擇采用膜回收+蒸發(fā)結(jié)晶工藝。
      對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,其他工序中產(chǎn)生的一些有機(jī)廢水、沖洗廢水,其含鹽量或者含重金屬物質(zhì)偏低時(shí),可以考慮采用化學(xué)藥劑、生化法或者沉淀法等一些簡(jiǎn)單的處理方式。
      實(shí)際上每一種半導(dǎo)體廢水處理方法,都有其與眾不同的優(yōu)點(diǎn),大伙兒需要依據(jù)自身的水質(zhì)情況,挑選更為合適自身的解決辦法。
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